真空度測試儀(中西器材) 型號:M25257
真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設備。它以單片計算機為主控單元,測試過程*實現自動化。該儀器在原理上改變了外同類產品采用電流峰值做標定的方法,而采用離子電荷來做標定。這樣,在物理原理上有好的準確性,而且,有效地抑制了測試過程中脈沖電源的干擾,使測試穩定。
該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環境因素產生的漏電電流,并且在測量過程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別,做到了對安裝于整機上的真空滅弧室的準確計量。目前,該儀器中已存有26條真空滅弧室的測量標準曲線,涵蓋了外絕大多數管型。
1、基于電離電荷的采樣技術
ZKY2000型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我廠在磁控放電的研究中發現:在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值有概率上的相關性。因此,我廠了基于電離電荷的采樣技術,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。
2、漏電電流的處理
對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性,并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
真空度測試儀(中西器材) 型號:M25257
技術參數
1、測量范圍:1*10-5~1*10-1pa
2、測量誤差:l*l0-4~1*l0-1pa中誤差<5%
3、測量分辨率:10-5pa
4、允許環溫:O℃~55℃
5、空氣濕度:<85%RH
6、電 源:AC220士10%
7、外型尺寸:430X300X235mm